半導體用氣浮轉臺
PART系列
PART系列精密氣浮軸承轉臺主要面向半導體設備以及激光領域；
高精度的回轉精度，提供超平穩的運動，角秒級別的精度和絕對重復性； 高超的制造水平，保證了氣浮軸承的質量和穩定性；輕質化設計，產品重量輕，更便于集成。
PART100尺寸圖
PART200尺寸圖
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